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典型的伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。當(dāng)輸入線圈通入電流伺服閥時(shí)，檔板向右移動(dòng)，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強(qiáng)，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時(shí)使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動(dòng)。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過(guò) C1流過(guò)回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動(dòng)電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。

ATOS比例閥的主要型號(hào)如下：

RZMO-AEB-NP-010/350/Q
RZMO-AEB-NP-010/350/Z

RZME-A-010/315-J/5
RZME-A-010/315-J/18

RZME-A-010/100-S/18

RZME-A-010/210-J/5

RZME-A-010/210-J/18
RZME-A-010/210-K/5
RZME-A-010/210-K/18
RZME-A-010/210-S/5
RZME-A-010/210-S/18

LICZO, LIMZO和LIRZO
2通數(shù)字式比例插裝閥可分別執(zhí)行：壓力補(bǔ)償，溢流和減壓開(kāi)環(huán)功能。
此類閥有不同的型式可供選擇：
A型，不帶集成式放大器，與分體式放大器配合使用，見(jiàn)第 節(jié)
AEB型，帶基本型集成式數(shù)字型放大器，模擬參考信號(hào)和USB接口用于軟件功能參數(shù)設(shè)置。
AES型，帶全功能型集成式數(shù)字型放大器和總線通訊接口，用于設(shè)置功能參數(shù)，參考信號(hào)和實(shí)時(shí)故障診斷。集成式數(shù)字型電子放大器根據(jù)參考信號(hào)對(duì)閥進(jìn)行液壓調(diào)節(jié)，出廠預(yù)調(diào)，保證閥與閥之間
可互換。規(guī)格：16到80通徑大流量: 高達(dá) 4500 l/min大壓力: 350 bar

ATOS電磁閥對(duì)介質(zhì)潔凈度有較高要求，含顆粒狀的介質(zhì)不能適用，如屬雜質(zhì)須先濾去。另外，粘稠狀介質(zhì)不能適用，而且，特定的產(chǎn)品適用的介質(zhì)粘度范圍相對(duì)較窄。ATOS電磁閥型號(hào)多樣，用途廣泛。電磁閥雖有先天不足，優(yōu)點(diǎn)仍十分突出，所以就設(shè)計(jì)成多種多樣的產(chǎn)品，滿足各種不同的需求，用途極為廣泛。電磁閥技術(shù)的進(jìn)步也都是圍繞著如何克服先天不足，如何更好地發(fā)揮固有優(yōu)勢(shì)而展開(kāi)。Atos數(shù)字式軸運(yùn)動(dòng)控制器是現(xiàn)代設(shè)備和系統(tǒng)智能型運(yùn)動(dòng)控制解決方案：它們易于設(shè)置，并能通過(guò)PC程序?qū)崿F(xiàn)對(duì)任何電液軸的位移、速度或力的*化的閉環(huán)控制。

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