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INFICON氣體分析儀MPH100F九個數(shù)量級的動態(tài)分數(shù)

持續(xù)上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出的代價。因此，在半導體制造中心了解過程并監(jiān)測Transpector MPH兼有具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優(yōu)點，

在幫助您贏利方面的作用所在城市表面的任何其他殘余氣體分析儀（RGA）。

INFICON利用在氣體分析過程控制設備領域的專長制造的RGA所有這些特性都不會犧牲INFICON Transpector氣體分析儀一貫出色的可靠性。

• 大模擬掃描和預期的數(shù)據(jù)速率為每點1.8 ms
• TCP / IP以太網(wǎng)連接
• 雙絲極
• 可現(xiàn)場更換電子倍增器
• 組合陽極，鹵素和反射極絲極套件
• *傳感器可降低安裝體積
• 九個數(shù)量級的動態(tài)分數(shù)
• <2E-15 Torr的MDPP（100 amu）
• 信噪比更高
• 可調(diào)換傳感器和電子元件
• 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配，測試并進行雙層包裝